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2025-9-30 8:01:00
盛美上海的单片槽式组合清洗设备（Ultra C Tahoe）取得了重要性能突破，它全球率先在实现将槽式清洗模块和单片晶圆清洗腔体结合到同一 SPM 设备中，具备更强的清洗性能、更高的产能和更好的工艺灵活性，能够满足更先进的晶圆代工、逻辑器件及存储器件的严格技术要求。
此次获奖，是对盛美上海技术创新和优秀成果的认可。未来，盛美上海将继续坚持“技术差异化” 、 “产品平台化”、“客户全球化” 战略，以卓越的技术优势和敏锐的市场洞察力，持续推出兼具创新性与竞争力的产品。
