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盛美上海推出用于化合物半导体金蚀刻工艺的Ultra ECDP电化学去镀设备
盛美上海首台高产能KrF 工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF系统顺利交付中国头部逻辑晶圆厂客户!
盛美上海宣布对其用于先进芯片制造领域的Ultra C wb湿法清洗设备进行重大升级
盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证
盛美上海等离子体增强原子层沉积炉管设备通过初步验证,原子层沉积炉管产品进一步强化
盛美上海前段半导体制造清洗设备Ultra C Tahoe取得重要性能突破