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盛美上海交付首台先进光刻胶固化设备Ultra Lith BK (Baker) 订单,集行业领先的紫外固化与温控均匀性于一身
盛美上海交付首台水平式面板电镀设备,有力响应先进封装市场需求!
盛美上海推出用于化合物半导体金蚀刻工艺的Ultra ECDP电化学去镀设备
盛美上海首台高产能KrF 工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF系统顺利交付中国头部逻辑晶圆厂客户!
盛美上海宣布对其用于先进芯片制造领域的Ultra C wb湿法清洗设备进行重大升级
盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证